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多晶硅生产设备介绍?

2024-01-05 18:37:35 财经知识

制晶设备是将硅液晶化成多晶硅的关键设备。主要有晶体生长炉和自动化炉等。晶体生长炉可分为有机型和无机型两类。有机型晶体生长炉包括CZ法、FZ法和EFG法。

多晶硅生产设备的核心设备

多晶硅生产设备的核心设备是反应器。反应器是多晶硅生产过程中最重要的设备之一。其结构和材料对多晶硅的质量和成本有着重要影响。反应器是在高温高压条件下进行多晶硅生长反应的装置,通过控制温度、压力和气氛,将硅液晶化为多晶硅。目前应用较广泛的多晶硅反应器主要有氯化硅反应器和氯化法反应器。

多晶硅的生产过程

多晶硅的生产过程主要包括多晶硅还原环节和多晶硅铸锭环节。

1. 多晶硅还原环节

在多晶硅还原环节中,常用的设备有:

  • 改进型40对棒、48对棒、72对棒还原炉:目前我国多晶硅还原炉运行的主流设备为改进型40对棒炉、48对棒炉、72对棒炉等炉型。单炉产量为12-27吨。
  • 气体输送系统:用于输送还原炉中的气体,包括氢气、氯气等。
  • 真空泵:用于产生反应过程中所需的真空环境。
  • 利用这些设备可以有效地制备获得电子级多晶硅。其工艺简单、安全、节能环保、成本低,生产的多晶硅纯度高,产生的尾气和废渣能够达到环保要求。

    2. 多晶硅铸锭环节

    在多晶硅铸锭环节中,关键设备是多晶硅铸锭炉。多晶硅铸锭炉是多晶硅制造的关键设备之一,其工艺流程的稳定性、设备控制的稳定性和先进性直接关系到是否生成出合格的硅锭,而合格的硅锭直接决定着硅片制成的电池的光电转换效率。

    多晶硅铸锭炉生产工艺主要包括:

  • 氢气压缩机:用于提供铸锭炉所需的压缩氢气。
  • HCl压缩机:用于提供铸锭炉所需的压缩氯化氢。
  • 三氯氢硅还原炉:用于将硅块还原成硅液。
  • 四氯化硅炉:用于制备四氯化硅。
  • 完善的生产工艺控制系统和科学的设备组成使得多晶硅铸锭炉可以保证较高的可靠性和稳定性。

    3. 其他多晶硅生产设备

    除了核心设备外,多晶硅生产过程中还涉及到其他设备:

  • 氢气压缩机:用于提供反应过程所需的高压氢气。
  • HCl压缩机:用于提供反应过程所需的高压氯化氢。
  • 磷检炉:用于检测多晶硅中磷元素的含量。
  • 这些设备在多晶硅生产过程中起到了重要的作用,确保了多晶硅的生产质量和效率。